团簇式OLED真空蒸镀工艺装备

本产品是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”，是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线)和G2.5（2.5代线）的研发设计和生产制造。
项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题（如：源炉技术、精准对位技术（对位精度达到1.5μm）、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等）。
公司可对外承接OLED的G1和G2.5工艺线的设计制造。

应用领域

可广泛用于OLED器件开发、量子点开发、薄膜太阳能电池器件研发、OLED微显示的研发和生产、OLED材料验证、VR（Micro-oled虚拟现实）、OLED照明等。

主要技术指标

指标	参数
对位精度	CCD精密对位≤1.5μm  机械对位≤150μm
膜厚均匀性和重复	±2%
总体技术路线	采用cluster方案
工艺流程	设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂

设备构成

OLED室