小型HFCVD 热丝化学气相沉积设备

小型HFCVD 热丝化学气相沉积设备，主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的科学研究。

可用于力学级、热学级、光学级、声学级的金刚石产品的科学研究。

可以研发金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。

可用于研发防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。

可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。

可用于太阳能薄膜电池的研发。

• 热丝不塌腰（解决了热丝长时间加热塌腰问题）。
• 可单面镀膜也可双面镀膜。
• 设备安全性设计，电力系统的检测与保护、设置真空检测与报警保护功能、设置水压检测与报警保护装置、冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护。