小型等离子清洗机（电容式）

利用电场的能量来激发和维持等离子体。在平行电极板上施加高频的交流电压。强大的交变电场使反应气体中的自由电子加速，这些高能电子与气体分子发生碰撞，使其电离、分解，从而形成等离子体。

离子定向性强，能量高，对于去除顽固的污染物（如油脂、指纹）和进行表面蚀刻、粗化效果非常好。适用于平面基片的清洗。

• 小型化，方便实验室操作和使用，大幅降低实验成本。
• 物理溅射能力强。适合处理顽固污染物。