科学仪器被视为科学家的“眼睛”，也被视为高端制造业皇冠上“耀眼的明珠”，是关键“卡脖子”技术。其中，以电子束技术为核心支撑的电子显微镜、电子束光刻机等尖端装备，因涉及电子光学系统、超高真空技术、纳米级控制等数百项精密技术，被列为战略级"硬科技"——前者是解析物质原子结构的"科学之眼"，后者则是突破5纳米以下芯片制程的"光刻尖刀"。