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格芯公布FDX Fusion细节:不靠EUV做7nm级性能,2030年目标大规模量产

2026-11-09

在放弃7nm FinFET开发八年后,晶圆代工厂GlobalFoundries(格芯,GF)正以另一条路径重返7nm级性能。其FDX Fusion工艺基于全耗尽绝缘体上硅(FD-SOI) 技术,采用先进平面晶体管,承诺在不使用极紫外(EUV)光刻的前提下实现7nm级性能。GF FD-SOI业务部门副总裁Sudipto Bose在专访中披露了该技术的密度、成本与量产时间表。

密度与性能:8nm级密度,7nm级能效

Bose给出的关键数字是:FDX Fusion的数字门密度为每平方毫米1400万个门,与当前业界8nm标准相当。按双输入NAND门(每门4个晶体管)折算,约为每平方毫米5600万个晶体管,与三星8nm级节点可比。GF刻意避免将其称为“7nm密度”,而是“7nm级”性能——因为数字门密度只是解决方案的一个维度,真正决定客户价值的是每瓦TOPS。

“我们本来想叫它6nm级,但觉得还是等有硅片出来再说,”Bose表示。FDX Fusion保留FD-SOI的标志性能力——自适应体偏(ABB),结合标准单元金属化创新,目标是在等功耗下性能比22FDX提升30%,等性能下功耗降低40%。射频性能方面,fT/fmax达到500GHz(0.5THz),为连接类应用、汽车雷达和数据中心信号链路提供支撑。成本逻辑:不用EUV,掩膜版价格更具竞争力

FDX Fusion的核心商业逻辑建立在规避EUV之上。传统7nm、6nm节点依赖EUV设备,掩膜版与工具链成本高昂。FDX Fusion基于DUV光刻与平面工艺,GF称其可提供更有竞争力的掩膜版价格,并在交付周期与生产布点上给客户更大灵活性。代价是晶体管密度明显低于真正的7nm FinFET节点,芯片面积会更大,“但不应超过今天8nm的水平”。

Bose解释了命名“Fusion”的意图:不把客户装进一个数字框里。需要跨阻放大器的客户可以用fT/fmax做模拟设计,不在乎数字密度;需要简单MCU的客户有1400万门/平方毫米可用;需要单芯片雷达、Wi-Fi或卫星数字波束成形器的客户可以调校其他参数。“我们想给客户选择权。”

目标应用:连接、边缘AI、汽车雷达、数据中心信号链

FDX Fusion的目标场景延续GF现有FDX客户群,并向上延伸:

  • 连接芯片:Wi-Fi、蓝牙、蜂窝、卫星通信;

  • 边缘AI MCU:带推理能力的微控制器,客户如Alif Semiconductors;

  • 汽车雷达:GF在81GHz雷达领域有显著份额,FDX Fusion将支撑其升级;

  • 数据中心信号链:不涉及CPU,而是光信号转换为电信号后的跨阻放大器与时钟恢复电路。目前该环节由GF硅锗工艺承担,FDX Fusion将提供第二种选择。

GF现有FDX平台已有九十余家客户处于量产爬坡阶段(非仅设计阶段)。Bose称,FDX Fusion的首批10家合作客户集中在边缘AI与数据中心连接领域。

时间表与制造:2028年商业生产,2030年大规模量产

  • 2027年初:示范硅片交付客户评估;

  • 2027年中:首版PDK发布;

  • 2028年:在德累斯顿工厂启动初始客户生产;

  • 2030年:目标实现大规模量产(HVM)。

制造将使用GF德累斯顿工厂,需要新增设备投资。Bose表示,前端晶体管制造工具链的目标是尽可能复用现有设备,但具体比例未披露。德累斯顿的SPRINT扩建项目(总投资11亿欧元)已于2026年10月封顶,预计到2028年底年产能超过100万片300mm晶圆,使德累斯顿成为欧洲最大代工厂。


图:格芯位于德国德累斯顿的SPRINT扩建项目

客户背书与产业定位

GF官方新闻稿中,宝马、博世、英飞凌、恩智浦、西门子、特斯拉等均表态支持FDX Fusion。英飞凌确认正与GF合作探索该技术用于下一代雷达与无线通信产品;特斯拉供应链副总裁称边缘高性能计算器件的开发与制造“是将物理AI带给大众的关键”。

GF欧洲晶圆厂高级副总裁Manfred Horstmann此前对媒体表示:“数据中心AI这班车已经开走了,但物理AI对全世界仍是开放的。”FDX Fusion的定位正是物理AI的STAC负载——感知、思考、执行、通信四位一体,而非与台积电、三星在数据中心AI芯片上正面竞争算力密度。


来源:GlobalFoundries官方新闻稿、IT时代网报道。

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