Xanadu 和三菱化学推进极紫外光刻量子计算工作

加拿大量子计算公司Xanadu Quantum Technologies于8月25日宣布，与日本三菱化学启动下一阶段合作，利用量子计算算法推进半导体制造技术。该阶段获得加拿大和日本两国国家创新计划支持，旨在扩展双方此前在极紫外（EUV）光刻模拟方面的合作成果。

EUV光刻的量子计算挑战

EUV光刻技术是制造先进芯片的核心工艺，支撑着移动设备、AI和高端计算等多个产业。然而，其效率常受到辐射诱导模糊效应的制约——这是一种固有的量子现象，也是经典计算机模拟的主要瓶颈。

第一阶段成果：量子算法验证

在双方合作的第一阶段，两家公司已证明量子算法能够精确模拟EUV光刻的关键环节，特别是用于刻蚀光刻图案的光刻胶的光学特性。

第二阶段目标：生产就绪工作流

下一阶段合作旨在开发一个可直接投入生产的工作流，将从Xanadu量子计算模拟中获得的参数直接集成到三菱化学的多尺度模型中，以预测模糊效应。最终成果将是一个容错量子计算（FTQC）就绪的软件管道，用于识别能防止模糊效应的材料，为半导体制造建立竞争优势。

Xanadu计划通过本次合作提供量子计算如何助力EUV光刻胶材料开发的具体演示和路线图。

政府支持与国际合作

该合作第二阶段获得加拿大国家研究理事会工业研究援助计划（NRC IRAP） 和日本战略创新促进计划（SIP） 的支持。日本SIP项目由产业技术综合研究所（AIST）和量子AI技术全球研发中心（G-QuAT）牵头。此前，Xanadu已从NRC IRAP获得超过80万美元的资助及咨询服务。

Xanadu创始人兼CEO Christian Weedbrook博士表示：“与三菱化学的合作将量子模拟与半导体制造连接起来，消除了关键制造瓶颈，为下一代半导体技术确立竞争优势。加日两国政府的资助彰显了该合作对推动全球半导体产业的重要性。”

三菱化学高级首席科学家Qi Gao博士表示：“此次合作扩展了三菱此前与Xanadu的成功合作，我们已证明量子计算在模拟EUV光刻胶材料方面的实用性。在两国国家创新计划和研究机构的支持下，我们很高兴能将加拿大和日本在量子计算与材料科学领域的专长结合起来。”

AIST G-QuAT副所长、SIP跨部门副项目主任Masahiro Horibe博士表示：“该项目是将前沿量子计算研究与实际产业挑战连接的绝佳范例。在半导体材料开发这一关键领域，我们期待日加合作能加速量子技术的实际应用。”

战略意义

Xanadu与三菱化学的联合计划旨在全球舞台上展示量子计算创新，同时为全球半导体产业推进关键的量子模拟能力。通过将量子创新与工业应用相结合，此次持续合作将为量子驱动的材料发现建立蓝图，为早期FTQC系统释放商业价值，推动全球半导体制造的未来发展。

来源：编译自Xanadu官方新闻稿