西南交通大学原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备采购项目公开招标公告

项目概况

西南交通大学原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在西南交通大学采购信息管理系统（https://caigou.swjtu.edu.cn/home/login.htm）获取招标文件，并于2026年09月18日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：J-HWCG-2026-094

项目名称：西南交通大学原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备采购项目

预算金额：225.900000 万元（人民币）

最高限价（如有）：225.900000 万元（人民币）

采购需求：

一、采购项目基本情况

1.招标编号：J-HWCG-2026-094

2.招标项目：西南交通大学原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备采购项目

二、资金情况

1.资金来源：财政性资金，已落实。

2.预算金额：人民币225.9万元；最高限价：225.9万元。

三、采购需求：

1.原子层刻蚀（ALE）依靠自限制循环反应实现原子级材料去除，是下一代微纳制造核心工艺，国内在等离子体-表面耦合机理、工艺窗口解析仍存在研究短板。现有常规刻蚀设备缺少ALE脉冲循环控制与等离子体原位诊断能力，难以解析改性、脱附两步反应的内在机制。为开展ALE基础机理与工艺研究，拟采购原子层刻蚀系统及配套等离子密度测试设备，支撑原子尺度加工基础研究。具体采购清单为：

本次采购范围，包括以上货物的供应、运输、安装调试、培训及售后服务。具体采购内容及所应达到的具体要求，以本采购文件中商务、技术和服务的相应规定为准。

2.履约时间：合同签订之日起90天内交货。

3.履约地点：西南交通大学九里校区原子级制造研究中心。

合同履行期限：合同签订之日起90天内交货

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目专门面向中小企业采购

3.本项目的特定资格要求：未被列入“信用中国”网（www.creditchina.gov.cn）中失信被执行人和重大税收违法案件失信主体，未为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚决定规定的时间和地域范围内）

三、获取招标文件

时间：2026年08月26日  至 2026年09月01日，每天上午8:30至12:00，下午12:00至17:30。（北京时间，法定节假日除外）

地点：西南交通大学采购信息管理系统（https://caigou.swjtu.edu.cn/home/login.htm）

方式：已在我校新版采购信息管理系统获取到账号密码的供应商，通过西南交通大学采购信息管理系统（https://caigou.swjtu.edu.cn/home/login.htm）缴费购买采购文件（电子版）。 获取采购文件时间：2026年08月26日至2026年09月01日8:30-17:30（工作日）。 采购文件售价：文件售价300元，售后不退，采购资格不能转让。 说明： 未在新版系统信息录入的供应商，请登录https://caigou.swjtu.edu.cn/gyszc.htm查看供应商信息录入须知并免费获取账号密码。在获取账号密码和信息录入过程中遇到问题致电4008085975转2；咨询开具发票问题致电028-66367359。

售价：￥300.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2026年09月18日 09点30分（北京时间）

开标时间：2026年09月18日 09点30分（北京时间）

地点：四川省成都市郫都区犀安路999号西南交通大学犀浦校区综合楼701室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.投标文件递交时间：2026年09月18日09时00分至09时30分。

2.本投标邀请在中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）和西南交通大学采购信息网（http://bidding.swjtu.edu.cn/）上发布。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：西南交通大学　　　　　

地址：四川省成都市郫都区犀安路999号西南交通大学犀浦校区综合楼703室　　　　　　　　　

联系方式：贾老师028-66367322 　　　　　　

2.采购代理机构信息

名 称：中恒德佳工程咨询有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：成都市金牛区金科中路18号6楼　　　　　　　　　　　　

联系方式：周女士、尹女士028-61363972　　　　　　　　　　　　

3.项目联系方式

项目联系人：周丽勤、尹云华

电　话：　　028-61363972