日本尼康推出全球首款亚微米分辨率FPD光刻系统FX-6ASLH，2027年12月上市

日本东京——日本尼康公司已开始接受FX-6ASLH平板显示（FPD）光刻系统的订单。该系统实现0.85微米（线宽/间距，L/S） 分辨率，成为全球首款达到亚微米分辨率的FPD光刻系统。FX-6ASLH面向G6板尺寸设计，专为先进智能设备所需的高清OLED和LCD面板生产优化。

产品规格

其中，0.85 µm分辨率在使用相移掩模和化学放大光刻胶时实现；G6板指用于中小尺寸面板的1,500 mm×1,850 mm玻璃基板。

技术特点

第一，0.85 µm（L/S）分辨率。 通过采用集成UV-LED光源的新开发照明光学系统，FX-6ASLH在G6板上实现0.85 µm线宽/间距和1.0 µm接触孔分辨率，为FPD光刻系统首次达到亚微米水平。即便在更易发生形变的大尺寸板上，系统也能在实时校正焦点的同时，以均匀线宽完成整片基板曝光。

第二，套刻精度≤±0.18 µm。 通过根据基板状况精确控制尼康多镜头系统中的每一枚镜头，并严格管理系统内部运行环境，FX-6ASLH实现了G6板FPD光刻系统中的最高套刻精度水平，有助于实现高良率量产工艺。

第三，高强度UV-LED光源兼顾分辨率与产能。 该光源使亚微米分辨率与高生产率得以兼得，提供出色的综合性能。

市场背景

随着先进智能设备显示器持续向更高清晰度和更强功能演进，支持G6板的中小尺寸面板FPD光刻系统对低于1.0 µm（L/S） 分辨率的需求日益增长。尼康此次推出的FX-6ASLH正是对这一需求的直接回应。