精密运动控制企业PI推出高速纳米定位系统，面向精密光学聚焦应用

精密运动控制企业PI（Physik Instrumente）为物镜调焦应用推出了新的解决方案，旨在通过两种互补的驱动技术，提供兼具高速响应与纳米级精度的聚焦系统。

PI指出，高速、高分辨率调焦对于晶圆检测、光学元件测量和生物样本成像至关重要。现代显微镜和表面计量系统通常需要在高倍率下工作，此时景深可能缩小至几微米甚至更低，样品高度、表面形貌、温度漂移或振动发生轻微变化，都可能导致目标区域脱离焦平面，进而降低图像质量和测量精度。

两种纳米定位驱动技术

为解决这一问题，PI推出了采用两种驱动技术的纳米级精密调焦系统，分别是压电驱动的P-725物镜调焦平台和音圈驱动的V-308物镜调焦平台。两款产品均可快速调整物镜位置，具备纳米级定位分辨率和毫秒级响应速度，即使面对较高的检测效率要求，或受到振动、温度变化等环境因素干扰，系统也能够使物镜持续稳定地聚焦在目标区域。

在光学轮廓测量和三维表面计量中，快速焦点扫描有助于准确重建复杂的表面形貌；在自动化显微成像中，这项技术则能够支持大面积或多样本的高速检测，同时保持图像清晰度。

提升半导体检测速度与精度

半导体检测对调焦系统的速度和精度提出了更严格的要求，因为检测设备需要在较短时间内准确测量数以百万计的微细结构。能够降低聚焦误差并缩短稳定时间的精密物镜调焦平台，可以直接提高检测效率和测量重复性，同时增强设备对更小缺陷与结构的识别能力。随着成像分辨率不断提升、半导体产量持续增长，高速纳米定位调焦系统正在成为下一代计量和检测设备的关键支撑技术。

要在毫秒时间内实现纳米级定位精度，仅依靠精密机械结构和高性能传感器还不够，还需要与之匹配的先进电子系统和控制算法。PI同时提供台式及OEM数字运动控制器，内置适用于扫描和快速步进定位应用的线性化与优化程序，使纳米定位平台在实际运行环境中充分发挥其机械性能。

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原文：PI Introduces High-Speed Nanopositioning Systems for Precision Optical Focusing Applications