PI推出1埃分辨率XYZ纳米定位台，加速显微成像与晶圆计量

精密运动与纳米定位技术企业PI（Physik Instrumente）推出P-733 XYZ压电纳米定位台，可实现0.1纳米（1埃）定位分辨率，面向超分辨率显微镜、原子力显微镜（AFM）、表面纳米计量及先进成像等高精度应用。

P-733将无摩擦柔性导向机构与高精度电容式位置反馈相结合，可实现亚纳米级定位和高重复性运动。其X、Y轴行程最高可达100×100微米，Z轴行程为10微米，能够在保持精细位移控制的同时，对相对较大的样品区域进行扫描和测量。设备还配有50×50毫米通光孔径，适用于透射光显微镜及其他光学成像系统。

针对高速扫描和缩短稳定时间的需求，PI还提供P-733.3DD高刚度直接驱动版本。该型号的XYZ行程为30×30×10微米，定位分辨率同样达到0.1纳米，机械谐振频率超过1千赫兹，可支持快速扫描、动态定位和短时间步进稳定。

P-733采用并联运动学与并联计量架构，各运动轴均相对于同一固定基准进行测量。与多个单轴平台逐层堆叠的结构相比，这种设计有助于降低轴间串扰和导向误差，并在高速扫描及多轴运动过程中保持纳米级轨迹精度。

在机械结构方面，该平台采用无磨损、无间隙的柔性导向机构和PICMA多层压电执行器，避免传统机械导轨中的摩擦与反向间隙。非接触式电容传感器用于闭环位置测量，运动线性度最高可达99.97%，同时兼顾长期稳定性。需要注意的是，0.1纳米代表系统能够分辨和执行的最小位移增量，实际测量精度还会受到环境振动、温度漂移、负载及控制参数等因素影响。

该纳米定位台可用于超分辨率及共聚焦显微成像、AFM扫描、晶圆计量、表面形貌测量、纳米压印、微操作、精密光学和图像稳定。针对真空设备及磁场敏感场景，PI还提供超高真空兼容和非磁性版本。

随着半导体检测、微纳制造和生命科学成像不断提高空间分辨率与扫描速度要求，纳米定位系统不仅需要实现更小的位移，还必须兼顾行程、刚度、动态响应和多轴误差控制。P-733通过1埃分辨率、三轴闭环控制和高速并联架构，为微纳尺度扫描与测量提供了新的定位方案。

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原文：XYZ Nanopositioning stage delivers 1 angstrom resolution