ASML进入“危机模式”:据称EUV光刻系统已流入中国
据彭博社援引匿名消息人士报道,美国政府已告知ASML,华盛顿方面掌握迹象显示,这家荷兰制造商的一台最先进光刻系统已被转移至中国。彭博社总结称,如果美国商务部长霍华德·卢特尼克提出的这一指控得到证实,这将是已知最严重的美国制裁违规事件之一。
ASML坚决否认这一怀疑;全球目前共有314台EUV系统在运行,其中没有一台位于中国。没有ASML的参与,这些系统既无法运行,也无法转移。据彭博社称,美国政府指控ASML蓄意欺骗美方。
美欧关系进一步承压
据称被带入中国的设备,是用于半导体制造、采用极紫外(EUV)曝光技术的光刻系统之一。ASML是全球唯一能够生产这类设备的公司,因此已成为欧洲市值最高的公司。由于出口限制,ASML不得向中国销售这些重达数吨的设备。据报道,在卢特尼克于4月提出相关指控后,ASML在华盛顿分发了一份文件,其中解释了该公司为何能够掌握每一台系统的下落。文件称,ASML可以记录“任何中断、任何异常行为以及任何连接丢失”。没有任何系统位于中国。
彭博社进一步写道,自相关指控提出以来,ASML内部一直处于“危机模式”。该制造商如今必须证明某件事情并不存在,而美国政府究竟需要何种信息才会满意,目前仍不清楚。华盛顿是否掌握支持该说法的证据,以及证据具体是什么,也尚不得而知。彭博社也未能确认美国政府究竟希望ASML采取何种行动。彭博社还写道:“如果ASML继续无法消除华盛顿的疑虑,可能会进一步加剧美国与欧盟之间本已紧张的关系。”
彭博社援引ASML一名公司发言人的话称,ASML经常与政府代表进行透明、开放的对话:“我们理解美国和荷兰出口管制法规背后的国家安全考量,并完全致力于遵守所有适用法规。”不过,这名发言人也表示,ASML已经“驳斥了多项有关涉华出口管制违规的不实传言,这些传言并不正确,并损害了我们的声誉。”荷兰政府也表示,鉴于其在半导体产业中的“独特角色”,荷兰认真对待自身责任。
原文:ASML in "crisis mode": EUV lithography system allegedly reached China | heise online
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