牛津仪器与纽约大学纳米加工中心合作，利用 PlasmaPro ASP 开拓原子级量子研究

纽约大学（NYU）纳米加工无尘室通过安装牛津仪器（Oxford Instruments）的 PlasmaPro ASP 原子层沉积（ALD）系统，进一步提升了其量子制造能力。纽约大学也因此成为美国首个将该技术应用于超导量子领域的机构。

此次设备采购由美国微电子共同体（Microelectronics Commons）通过 NORDTECH 枢纽资助。它使纽约大学能够利用这种先进的高速率等离子体处理技术来制备超导氮化物，这对于量子计算、量子传感和量子通信至关重要。该能力直接支持了微电子共同体“从实验室到工厂”（Lab-to-Fab）的使命——这是《芯片与科学法案》（CHIPS and Science Act）的一项旗舰倡议，旨在加强美国的微电子研究、原型设计及劳动力发展。

PlasmaPro ASP ALD 系统专为生产量子应用所需的关键超导氮化物而设计，其沉积速率比同类替代方案快三倍。

由纽约大学领导并于 2025 年 11 月发表在《应用物理快报》（Applied Physics Letters）上的一项合作研究指出，碳氮化钽（TaCₓN₁₋ₓ）是一种具有低微波损耗、高动力学电感和宽超导能隙的超导材料，非常适合利用原子精度等离子体 ALD 技术进行可扩展量子器件的制造。

纽约大学坦登工程学院电气与计算机工程系教授、纽约大学纳米加工中心主任 Davood Shahrjerdi 表示：“作为 NORDTECH 枢纽内的学术原型设计基地，纽约大学纳米加工中心的职责是开发新材料和新工艺，架起基础研究与量子技术规模化制造之间的桥梁。将这一旗舰能力扩展到下一代量子硬件是顺理成章的进展，因为它能够催生新的材料和器件架构。我们对在纳米加工中心建立这一能力感到兴奋，并感谢牛津仪器与我们合作将这一愿景变为现实。”

负责美国空军研究实验室（AFRL）参与该项工作的 Matthew LaHaye 博士指出：“与量子信息平台中使用的传统超导材料相比，薄膜氮化物超导具有多项关键优势。这使得相关系统在更高温度或其他非理想条件（如存在磁场和光照）下运行更加稳健。因此，可靠地制备高质量氮化物薄膜的能力，最终将有助于降低超导量子平台的运行成本，并促进此类平台与其他技术的集成。”

牛津仪器等离子体技术部战略研发市场负责人 Harriet van der Vliet 博士表示：“我们很高兴能通过安装美国首台用于超导氮化物的 PlasmaPro ASP ALD 系统，进一步增强纽约大学纳米加工中心的能力。这项技术将助力纽约大学团队加速先进半导体和量子器件的开发。我们很高兴能加强与纽约大学的合作伙伴关系，并支持下一代研究人员。”