采购单位

南方工业技术研究院（深圳）

项目名称

电子束曝光机

预算金额（万元）

1630万元

采购品目

电气物理设备

采购需求概况

设备用于微纳器件的高精度图形制备与工艺过程控制，可实现纳米级分辨率光刻加工；具备高端的图形制备功能及加工过程可视化指引，支持复杂结构与大面积图形的制备需求，满足微纳制造相关学科未来发展需要。

联系人

许老师

联系方式

电话：0755-23306690

邮箱cgzy@siitsz.com

预计采购时间

2026年6月

备注

无