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用于 AR 眼镜的高分辨率、宽视角 Lissajous 扫描光引擎

2026-03-27
论文

Hongxin Li¹ Jianan Chen¹

¹ 光峰科技(Appotronics Corporation, Ltd.)

摘要

具备宽视角(FOV)和高 PPD(每度像素数)的 RGB 全彩光引擎,对于增强现实眼镜建立应用生态并渗透大众消费市场至关重要。智能 AR 眼镜受其眼镜形态的限制,对显示模组的光引擎尺寸和功耗有着近乎苛刻的要求。与 Micro LED 相比,激光具有更高的插墙效率(WPE);而与光栅扫描镜相比,Lissajous(利萨如)扫描镜能够以更小的尺寸和更低的功耗实现 MEMS 微镜的微型化。利用 Lissajous 扫描的激光束扫描(LBS)技术有望满足上述对尺寸、功耗和视场角的要求。然而,受限于 Lissajous 成像方法的固有局限,在大视角下其成像质量(尤其是分辨率)难以满足高清显示的需求。本研究提出了一种可行的高分辨率 Lissajous 扫描成像方法:通过特殊的 MEMS 微镜设计,将 Lissajous 扫描图像转换为近似的光栅扫描图像,大幅降低了 Lissajous 图像生成算法的难度。结合 MEMS 微镜与多发射极激光器(multi-emitter lasers),有望解决超大场角下 Lissajous 成像分辨率不足的问题。实现超过 60° 的视场角和全高清(Full HD)图像显示,从而推动 LBS 在增强现实眼镜中的应用。

激光束扫描 (LBS) 高分辨率 视场角 (FOV) Lissajous 成像

1. 引言(INTRODUCTION)

具备全彩显示和宽视角的轻量化增强现实眼镜,有望成为下一代个人消费终端和计算平台。然而,紧凑、低功耗且高分辨率的光引擎解决方案在现阶段仍难以实现。

虽然 Micro LED 在尺寸上具有无可比拟的优势,但提高分辨率和实现全彩显示会导致插墙效率(WPE)迅速下降,从而导致功耗显著增加。相比之下,激光在微型化和高 WPE 方面具有显著优势,在尺寸和功耗上均优于 Micro LED。

然而,激光束扫描(LBS)技术受限于 MEMS 微镜固有的物理限制,存在分辨率不足、MEMS 尺寸过大以及镜面驱动功耗高等缺点。采用在双轴上均以谐振模式运行的 Lissajous 扫描镜,可以大幅降低镜面驱动功耗,同时缩小驱动机制尺寸并增加镜面的光学扫描角度。这使得开发具备大视场角的更紧凑 LBS 光引擎模块成为可能。

然而,提升 Lissajous 扫描的分辨率通常极具挑战性。一种策略是采用多发射极激光器来成倍提高 LBS 引擎的分辨率。但与光栅扫描(Raster scanning)相比,Lissajous 扫描的扫描轨迹分布均匀性较差,导致其与多发射极激光器的耦合变得复杂。为了解决这些局限性,本文提出了一种适用于多点 Lissajous 扫描的 MEMS 微镜及相应的多点扫描策略。该方法在紧凑的 LBS 引擎中同时实现了大视场角和高分辨率。

2. LISSAJOUS 扫描(LISSAJOUS SCANNING)

2.1 MEMS 微镜设计

一种特殊设计的 Lissajous 扫描镜如图 1 所示。与传统的双轴扫描镜不同,该微镜的快轴和慢轴以非正交模式运行,这意味着慢轴与快轴的正交方向形成了一个夹角 δ\delta

图 1:一种快轴与慢轴非正交的特殊设计MEMS微镜。

对于 Lissajous 扫描镜,快轴工作频率 fxf_x 和慢轴工作频率 fyf_y 均接近其谐振频率,并应满足公式 (1) 中的关系:

{fx=fr×kxfy=fr×kyGCD(kx,ky)=1\begin{cases} f_x = f_r \times k_x \\ f_y = f_r \times k_y \\ GCD(k_x, k_y) = 1 \end{cases}

此处,frf_r 表示 Lissajous 扫描的刷新频率(refresh frequency)GCD()GCD() 代表最大公约数函数。

2.2 Lissajous 扫描轨迹(Scanning pattern)

为了演示说明,我们将 frf_r 设为 90,kxk_x 设为 22,kyk_y 设为 3。快轴和慢轴的光学扫描角(视场角)FOVxFOV_xFOVyFOV_y 分别为 56° 和 42°。在此配置下,Lissajous 扫描镜实现了 90 Hz 的刷新率,其扫描轨迹如图 2 所示。

对于图 2 中的 Lissajous 扫描轨迹,扫描线的最大间距 β\beta 位于图像中心,满足以下关系:

β=FOVy×sin(π2kx)\beta = FOV_y \times \sin\left(\frac{\pi}{2k_x}\right)

需要注意的是,图 2 中的 Lissajous 扫描轨迹可以分解为两个互不交叉的扫描图案。取扫描线与 MEMS 微镜慢轴之间夹角相对较小的扫描图案(如图 3 所示),则扫描线与水平方向的夹角 γ\gamma 满足以下公式:

γ=arctan(ky×FOVykx×FOVx)\gamma = \arctan\left(\frac{k_y \times FOV_y}{k_x \times FOV_x}\right)
图 2:特殊设计MEMS微镜的利萨如扫描图案
图 3:单向扫描线的利萨如扫描图案。

如果我们设置夹角 δ\delta 等于 γ\gamma,则图 3 中图像中心的扫描线将变得与图像两侧的边缘垂直(如图 3 所示)。基于此,如果我们将图像顺时针旋转角度 δ\delta,即可获得如图 4 所示的扫描线轨迹。

此时,除了图像边缘外,绝大多数扫描线均呈水平方向排列。最大扫描线间距 β\beta' 仍位于图像中心,并满足以下关系:

β=β×cosδ\beta' = \beta \times \cos\delta
图 4:具有水平扫描线的利萨如扫描图案。

与传统的 Lissajous 扫描相比,图 4 中的大多数扫描线呈现水平扫描方向,且扫描速度沿水平轴呈正弦分布。这使得它们更接近于光栅扫描(raster scanning),从而更有利于与多发射极激光器(multi-emitter lasers)进行集成。

3. 多发射极扫描(MULTI-EMITTER SCANNING)

3.1 多发射极激光器的 Lissajous 扫描图案

为了实现均匀的扫描线,多发射极激光器的发射点应保持等间距排列。考虑到人眼在视场中心具有最高角分辨率,为了获得最佳显示性能,多发射极激光器准直光束之间的相对角度应满足以下关系:

a=(k+1/n)×βa = (k + 1/n) \times \beta'

其中,nn 代表多发射极激光器的发射点数量,kk 是由激光发射点间距决定的任意自然数。

k=0k = 0。当激光点数 n=5n = 5 时,扫描线轨迹可以从图 4 扩展到图 5。对图 5 中的 A 区和 B 区进行局部放大,得到如图 6 所示的扫描线轨迹。可以观察到,使用多发射极激光器在图像中心产生了几乎均匀分布的水平扫描线。然而,在图像边缘,扫描轨迹变得倾斜且间距不均,这是由 MEMS 微镜沿 Y 轴的非均匀运动造成的。

计算图像中心的 PPD(每度像素数) 得到以下关系:

PPD=1/(n×β)PPD = 1 / (n \times \beta')

在当前参数下,PPD 为 1.67。通常,显示器需要至少 30 PPD 才能避免人眼察觉到明显的颗粒感。此时,快轴工作频率 fxf_x 必须达到 35.64 kHz,才能在实现超过 40° 的垂直视场角的同时,保证 90 Hz 的刷新率。

图 5:具有水平扫描线的多发射器激光器的利萨如扫描图案。
图 6:具有水平扫描线的利萨如扫描图案局部放大图:(a) 图5中的区域A;(b) 图5中的区域B。

3.2 多发射极 Lissajous 扫描显示方法

如图 6 所示,当扫描线沿 Y 轴远离中心时,其间距会变得不均匀,甚至可能出现交叉。为了提高显示的均匀性,本方案仅选择符合以下策略的 Lissajous 扫描线进行显示:

dη×β/nd \ge \eta \times \beta' / n

此处,dd 代表当 X 轴坐标为 0 时,扫描线之间的最小间距。η\eta 为间距系数(spacing coefficient)。当 η\eta 分别设为 0.9、1.9、2.9 和 3.9 时,实际显示的扫描线轨迹如图 7 所示。

图 7:滤波后多发射器激光器的利萨如扫描图像图案:(a) η= 0.9, (b) η= 1.9, (c) η= 2.9, (d) η= 3.9。

可以观察到,相邻扫描线之间的最大间距与最小间距之比满足以下关系:

dmax/dminη/(1+η)d_{max} / d_{min} \ge \eta / (1 + \eta)

这意味着随着 η\eta 的增加,该比值会减小,从而使扫描线分布更加均匀。然而,这种方法的缺点是会降低 PPD(每度像素数)。

为了克服这一局限性,可以采用分段策略(segmented strategy),例如在图像帧的中心区域和顶部/底部边缘区域应用不同的扫描线间距。公式 (9) 给出了一种分段扫描线提取策略:

{dη×β/ny<FOVy/4d(η+y2FOVy)×β/nyFOVy/4\begin{cases} d \ge \eta \times \beta' / n & |y| < FOV_y / 4 \\ d \ge (\eta + \frac{|y|}{2FOV_y}) \times \beta' / n & |y| \ge FOV_y / 4 \end{cases}

其中,yy 代表当 X 轴坐标为 0 时,扫描线的 Y 轴坐标。当 η=0.6\eta = 0.6 时,应用此分段策略得到的实际显示扫描轨迹如图 8 所示。该配置在保证中心和顶/底区域扫描线相对均匀的同时,增加了图像中心的扫描线密度,从而提升了视场(FOV)中心的角分辨率。

图 8:分段滤波后多发射器激光器的利萨如扫描图像图案:η= 0.6。

4. 结论(CONCLUSION)

本文提出了一种 Lissajous(利萨如)扫描镜及相应的多点 Lissajous 成像策略。仿真结果表明,该策略能够产生近乎均匀的水平扫描轨迹。

当微镜的快轴工作频率为 35.64 kHz 且激光器具备 5 个发射点时,该方案在 90 Hz 的刷新率下,实现了超过 40° 的垂直视场角和超过 60° 的对角线视场角,同时在图像中心保持了 30 PPD 的分辨率。

参考文献

  1. Franz Fidler, Anna Balbekova, Louahab Noui, Sebastian Anjou, Thomas Werner, Jörg Reitterer, "Laser beam scanning in XR: benefits and challenges," Proc. SPIE 11765, Optical Architectures for Displays and Sensing in Augmented, Virtual, and Mixed Reality (AR, VR, MR) II, 1176502 (27 March 2021); https://doi.org/10.1117/12.2576490
  2. Jussi Rahomäki, "Commercialization of Dispelix LBS Waveguides," Proc. SPIE 11932, SPIE AR, VR, MR Industry Talks 2022, 1193205 (7 March 2022); https://doi.org/10.1117/12.2632470
  3. M. Scholles, A. Bräuer, K. Frommhagen, Ch. Gerwig, H. Lakner, H. Schenk, M. Schwarzenberg, "Ultra compact laser projection systems based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors," Proc. SPIE 6466, MOEMS and Miniaturized Systems VI, 64660A (22 January 2007); https://doi.org/10.1117/12.700093
  4. Hofmann U, Janes J, Quenzer H-J. High-Q MEMS Resonators for Laser Beam Scanning Displays. Micromachines. 2012; 3(2):509-528. https://doi.org/10.3390/mi3020509
  5. Matan Naftali, Adi Baram, Ran Gabai, Meni Yehiel, Gil Cahana, "Large field-of-view in LBS systems," Proc. SPIE 13414, Optical Architectures for Displays and Sensing in Augmented, Virtual, and Mixed Reality (AR, VR, MR) VI, 134141J (21 March 2025); https://doi.org/10.1117/12.3042715
  6. Microsoft Technology Licensing, LLC. "MEMS SCANNING DISPLAY DEVICE." US2018255278. 2018-09-06.
  7. Brian Wheelwright, Daniel Greif, Jacques Gollier, Zach Kehs, "Advances in MEMS-based laser scanning displays for AR glasses," Proc. SPIE PC13414, Optical Architectures for Displays and Sensing in Augmented, Virtual, and Mixed Reality (AR, VR, MR) VI, PC134140B (21 March 2025); https://doi.org/10.1117/12.3042320

著录信息

  1. Hongxin Li and Jianan Chen "High-resolution Lissajous scanning light engine with wide field of view for AR glasses", Proc. SPIE 13821, Optical Architectures for Displays and Sensing in Augmented, Virtual, and Mixed Reality (AR, VR, MR) VII, 1382111 (5 March 2026); https://doi.org/10.1117/12.3079646

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