MPI探针台| 12英寸半自动探针台|TS3000|TS3000-IFE 射频毫米波测试

TS3000定位是“以最低成本实现自动化的入门级 300 mm 探针台”。

目标应用：产品工程、故障分析、设计验证、WLR（晶圆级可靠性）以及 RF/mmW 场景。 温度能力：仅支持常温或“热-only”热卡盘；如需-60 °C~+300 °C 全温区，需选 TS3000-IFE。 结构特点： – 最小化系统占地：把热系统冷却器集成在主机内部； – 超短电缆接口：与功能测试仪距离最近，提高测量指向性； – 大压板设计：可同时容纳 12×DC 或 4×RF MicroPositioners，压板主动冷却抑制热漂移； – 双前门+独特卡盘：150/200/300 mm 晶圆、碎片甚至 5×5 mm IC 均可快速装卸； – AUX 校准卡盘前置，无滑出 stage，方便 RF 校准与探针卡清洁自动化。 软件：标配 SENTIO® 多点触控套件，支持滚动、缩放、移动手势，培训时间极短。 可扩展性：所有选项及温区升级均可在现场完成，保护初期投资。 TS3000-IFE（Ice-Free Environment）则是在 TS3000 基础上的“全温区增强版”。 温度范围：-60 °C ~ +300 °C，真正覆盖低温至高温全测试需求。 IceFreeEnvironment™：专利屏蔽与干燥技术，消除低温结霜，保证 DC/CV、1/f、RTS、RF/mmW 测量的超低噪声与高重复性。 其余机械、接口、软件与 TS3000 完全一致，因此可直接由 TS3000 现场升级而来。 一句话推荐： – TS3000：低成本入门自动探针台，常温/高温测试首选； – TS3000-IFE：在 TS3000 基础上加入全温区 IceFreeEnvironment™，满足必须低温或宽温条件的工程验证与可靠性测试。