v 用途：材料清洗、材料活化、材料刻蚀、材料涂覆
v 80 kHz：功率 1000 或 3000 W
13.56 MHz：功率 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W
2.45 Hz：功率 0 - 1200 W
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
v 圆形不锈钢，带铰链的门（约φ400 mm，长 625 mm）
矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 400 mm x 高 400 mm x 深 625 mm）
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