实验型匀胶机

v 适用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘

v 自动滴胶功能

v 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制

v 转速范围：20-10000rpm

v 转速分辨率：±1rpm

v 加速度可调范围：20-50000rpm/s

v 单步时长：3000s

v 时间分辨率：0.1s