图形发生器——Pharos Ex

图形发生器是电子束曝光设备的核心部件。扫描电子显微镜配备图形发生器可搭建成为实验室级电子束曝光设备，进行微纳器件制备工作。适用于科研院所和高校MEMS、光电子、微电子等实验室。

为满足纳米级电子束曝光系统的需求，北京金竟科技有限责任公司最新推出自主研发的Pharos Ex图形发生器系统。图形发生器是电子束曝光系统的核心部件，采用现场可编程逻辑门阵列器件（FPGA）作为核心处理器，将矢量图形数据转换为电子束曝光数据，通过优化设计的数模转换电路，将数字量转化成高精度的模拟量，驱动扫描电镜的扫描偏转系统偏转电子束进行多路径扫描。

图形发生器对标准样片进行图像采集，完成写场的线性畸变校正（扫描场增益、旋转和位移校正）。图形发生器控制束闸的通断，配合高精度X-Y纳米位移台，可实现写场的拼接及套刻，拼接及套刻精度优于100 nm。

技术参数

(1)图形拼接精度：≤±100 nm（含有高精度位移台）；

(2)图形套刻精度：≤±100 nm（含有高精度位移台）；

(3)扫描速度：最高至20 MHz；

(4)线宽测量：根据SEM类型，优于50nm（场发射扫描电镜）；

(5)配置高精度压电位移台；

(6)可选配电子束束闸及其控制器，信号开关速度优于50ns。