衍射微纳光学元器件

衍射微纳光学元器件

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• 熔融石英、硅
• 8"晶圆级
• 二元、8阶、16阶
• 0.5μm的最小特征尺寸
• < 70nm套刻精度
• 衍射效率高达98%
• 190nm至5μm波长范围
• 应用领域：半导体制程、光束整形、激光光学、光场匀化器/扩散器、相位板、三维传感、点阵发生器

应用领域

光纤阵列准直