全自动化多功能量产型纳米压印系统

PL-A 系列是一款气压驱动的全自动化多功能量产型纳米压印系统，该系统使用紫外光源固化方式，最大支持12英寸产品生产需求。结合我司自主研发的SFP& Hybrid Mold 复合模板压印技术，可以支持最小压印分辨率可达20nm以下，并且支持曲面压印。

PL-A 系列纳米压印系统具有高产能、超高分辨率压印、全自动化、操作简单等优点。

最大压印尺寸300mm(12in.)

最小分辨率＜20nm

支持硅、石英、蓝宝石、氧化硅等衬底

全自动工艺流程

紫外固化光源：UVLED面光源(365nm，光强>800mW/cm2)

设备洁净度：百级及以上