结构超滑RF MEMS开关

MEMS开关是一种控制电路通断状态的基础核心电子元器件，具有小体积、低成本、低能耗、低损耗、高线性度、高隔离度等特性，可广泛应用于移动通信终端、自动化测试（ATE）、相控阵雷达、卫星通信、工业/消费电气自动化设备等先进电子装备领域。但受可靠性、操作功率等性能限制，传统MEMS开关在相关领域一直无法实现大规模应用。

基于结构超滑技术的新型MEMS开关，利用超滑界面的极低摩擦、无磨损、全接触面积等特性将具有超长寿命（千亿次级别）、大功率（>20-100 W）等特性，彻底突破传统MEMS开关的主要技术瓶颈，实现真正意义上的“理想开关”(Ideal Switch），成为电子行业最具突破性的技术革新。

功能

对电路中的射频信号进行通断、路由、相位改变，是射频系统基础核心器件。

原理

利用结构超滑副作为电流传输界面，可以将MEMS开关传输功率和寿命提高1-2个量级。

应用场景

无线通信基站（4G/5G），手机射频前端，卫星通信，相控阵雷达系统，大型医疗设备等。

性能参数

带宽：=DC-6 GHz

功率：>20 W

寿命：十亿次以上

驻波比：<1.5

隔离度：>30 dB@6 GHz

插入损耗：<0.3 dB@6 GHz