GL150 PreNIL & GL300 PreNIL

全自动纳米压印光刻预处理设备，自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能。

主要功能

• 全自动纳米压印光刻基底预处理
• 机械手自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能
  
• 毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
  
• 旋涂匀胶，包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能
  
• 热板烘烤、冷板冷却功能

相关参数