用于激光雷达的高可靠双轴MEMS微镜:光学扫描角度大于100°
2024-12-30
中芯聚源领投,知芯传感新一轮融资用于扩大MEMS微镜阵列产能
用于 AR 眼镜的高分辨率、宽视角 Lissajous 扫描光引擎
MEMS驱动光子和光电子性能
华鑫微纳8英寸MEMS晶圆全自动生产线正式投产!
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