佳能推出FPD光刻机无汞光源选件：用LED替代汞灯，寿命延长20倍

编者按：本文编译自佳能官方新闻稿，原标题为“Canon to launch mercury-free light source option for FPD lithography”。

东京——日本佳能公司于2026年8月26日宣布，为其MPAsp-H1003H FPD光刻系统推出全新的无汞光源选件，以LED光源替代传统汞灯。该选件计划于9月初正式发售。

MPAsp-H1003H FPD光刻系统

性能提升与环保效益

LED选件在多个维度实现了显著提升：

• 光源寿命：标准使用条件下达20,000小时，而传统汞灯仅约1,000小时，寿命延长20倍，大幅减少光源更换频率和设备停机时间。
• 照明强度：比传统汞灯提高至少40%，可缩短曝光周期时间。
• 功耗：照明单元最大功耗降低至少65%，系统总功耗降低至少10%。
• 环保：每台系统每年可减少至少1公斤的汞废弃物。

产品配置与升级路径

LED选件将光源单元数量从传统型号的3个减少至1个。初期将面向新安装的MPAsp-H1003H系统提供，后续将作为付费升级选项向现有系统用户开放，并逐步扩展至其他型号。

LED选项（右图）将传统型号（左图）的三个光源减少到一个

来源：编译自佳能官方新闻稿

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