498万元！深圳技术大学【金属有机化合物气相沉积仪】意向公开

2026-08-20

招标

深圳技术大学金属有机化合物气相沉积仪意向公开

招标预告 1个联系人仪器仪表

招采单位：

公告联系方式：招采方张敏0755-23256568

采购产品：

预算金额： 498.0000万

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采购单位:	深圳技术大学
项目名称:	金属有机化合物气相沉积仪
预算金额（元）:	4,980,000.000
采购品目:	其他仪器仪表
采购需求概况:	拟购置金属有机化合物气相沉积仪1套 1.近耦合喷淋式反应腔，GaAs/InP材料生长系统； 2.晶圆尺寸：6英寸向下兼容； 3.反应室腔体压力：5.0mbar至1000mbar范围可调，控压精度±1%25以内，真空漏率＜1×10？？ mbar·L/s； 4.旋转系统转速：0至200 RPM范围可调，旋转控制精度±0.5 RPM以内； 5.控温系统：电阻丝加热，三区独立控温，三区根据K值可自动调整，最高加热温度不低于1250℃； 6.配置MO源气体管线6路，预留空间6路； 7.氢化物、载气及压力平衡气路5路，预留空间3路； 8.原位监测系统：配备950nm、633nm、405nm三波段集成原位监测系统,实时监测并显示外延生长时的温度、反射曲线、生长速率以及温度Mapping 等功能； 9.配备安全监测与报警系统、可编程的逻辑控制器，并配置工控机及数据库，24V电，继电器，IO/DO模块，人机界面，软件系统，菜单编辑及数据分析管理等。
联系人:	张敏
联系电话:	0755-23256568
预计采购时间:	2026-09
备注:	无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准