MetaOptics进驻斯坦福大学纳米设施：100纳米激光直写加速超透镜验证

新加坡半导体光学企业MetaOptics宣布，将其用于超透镜制造的激光直写设备（DLW）安装并部署至斯坦福大学nano@stanford设施。此前，MetaOptics已成为斯坦福工程学院SystemX Alliance计划的准会员，此次设备部署将进一步支持公司在美国开展技术验证、客户合作和商业化拓展。

该DLW面向4英寸玻璃晶圆设计，可以在数周内完成超透镜样品的原型开发和制造，同时支持小批量生产，用于试产、产品验证和客户需求评估，帮助合作伙伴缩短从设计概念到实际产品的开发周期。

nano@stanford是面向产业界、政府和斯坦福大学研究人员开放的共享纳米制造平台，每年服务超过1400名用户。MetaOptics的DLW将由nano@stanford负责管理，并向设施成员开放使用。

单批可制造超过100个微型超透镜

该激光直写设备的加工精度达到100纳米，可一次制造超过100个超透镜，单个超透镜直径最小可达0.1毫米。相关器件可应用于共封装光学结构、高速光互连准直以及微型成像等领域。

其中，准直超透镜能够控制和整形光束，有望改善高速互连中的光耦合效率；成像超透镜则可以利用微型平面结构替代部分传统曲面光学元件，为光学系统小型化提供新的方案。

根据协议，nano@stanford将向MetaOptics提供用户反馈，并支持设备及超透镜产品的现场演示。这些工作将帮助公司验证设备性能和实际应用能力，同时为其在美国开展客户测试及后续商业生产提供基础。

MetaOptics计划将该平台建设为一座面向超透镜的“微型晶圆厂”，提供小批量、快速周转的原型制造能力。公司还将利用SystemX Alliance计划，与其中的美国科技企业展示并推广其超透镜技术。

MetaOptics执行主席Thng Chong Kim表示，将DLW部署在nano@stanford共享设施中，有助于加强技术验证、收集用户反馈，并扩大与潜在产业合作伙伴和终端客户的接触。

关于MetaOptics

MetaOptics总部位于新加坡，主要开发玻璃基超透镜和AI图像处理技术，并采用可扩展的12英寸DUV光刻工艺，面向共封装光学、移动设备、AR/VR、汽车及其他新兴应用市场。

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原文：MetaOptics to Deploy its Direct Laser Writer at the nano@stanford Facility