【新建项目】山东中科际联光电集成技术研究院——星载高性能光源与放大产业化项目

1 、项目由来

山东中科际联光电集成技术研究院有限公司成立于2019年10月21日，注册地位于山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园区9号楼，法定代表人为张志珂。经营范围包括光电科技领域内的技术研发、技术咨询、技术服务、技术转让、技术推广；光电器件研发，生产，销售；电子、通信与自动控制技术研究服务；软件开发。

山东中科际联光电集成技术研究院有限公司现有项目为“中科微纳光子集成中心改造项目”和“中科微纳光子集成中心扩建项目”，其中“中科微纳光子集成中心改造项目”于2021年2月24日取得了淄博高新技术产业开发区环境保护局的批复，批复文号为：淄高新环报告表〔2021〕14号，项目于2022年12月25日完成自主验收；“中科微纳光子集成中心扩建项目” 于2023年1月18日取得了淄博高新技术产业开发区环境保护局的批复，项目于2023年4月3日完成自主验收。

卫星互联网是国家重大战略工程，预计将发射1.1万颗卫星，目前已经进入组网星阶段，2026年将发射超过150颗卫星。为了实现万星互联，我们采用了激光用于星间的信息传输。其中，能够产生激光的星载高性能光源和放大是核心的功能单元。因此，为了尽快实现万星互联，需要提高星载高性能光源和放大的生产交付能力，山东中科际联光电集成技术研究院有限公司计划投资17365万元，建设星载高性能光源与放大产业化项目。

2 、项目概况

项目名称：星载高性能光源与放大产业化项目

建设单位：山东中科际联光电集成技术研究院有限公司

项目性质：扩建

行业类别：C3976光电子器件制造

建设地点：山东省淄博市高新区中润大道158号MEMS产业园区9号楼

项目概况：本项目将购置包含金属有机物化学气相沉积设备（MOCVD）、等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD）、电子束曝光机等在内的256台套设备，覆盖研发、生产和测试全流程，主要针对宇航级光电子芯片工艺中涉及材料生长、光刻、镀膜、解理、刻蚀等关键工艺进行技术攻关，解决生产过程中的批次间稳定性和一致性问题，支撑星载高性能激光光源与放大模块年产5000只的生产能力，实现国产化自主可控，满足卫星互联网等国家重大型号卫星中星间激光链路对光电子产品的性能和批量化保供要求。

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