2800万元！空天信息大学（筹）2026年01月（至）03月政府采购意向

序号

采购项目名称

采购需求概况

预算金额

（万元）

拟面向中小企业预留

预计采购时间

（填写到月）

备注

1

空天信息大学（筹）材料生长与刻蚀等工艺设备采购项目

本项目用于空天信息大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购热型介电材料原子层沉积设备、集束型原子层沉积系统、八英寸电感耦合反应离子刻蚀、二氧化硅刻蚀机、低压化学气相沉积、管式退火炉、湿法清洗机、甩干机、晶圆干燥机、等离子去胶机，实现薄膜材料的生长与刻蚀，满足专业基础教学和科学研究需求。拟采购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情况为准。

2800.000000

否

2026年03月