超滑平台潘旭捷：微纳制造平台工艺技术与业务发展探索

2024-09-29

技术的现状与未来展望

潘旭捷首先回顾了纳米技术的发展历程，指出尽管半导体技术已取得显著进展，但费曼先生预言的微纳机器等愿景尚未实现。他强调，微纳技术已经在多个领域催生了17项诺贝尔物理学和化学奖，并在我国科研界占据重要地位。展望未来，他提到第四次工业革命将以AI为核心，而AI的发展需要大量传感器、执行器以及对能源的高效利用。微纳技术将在这些领域发挥关键作用，推动物理世界与数字世界的深度融合。

超滑微系统的创新与应用

在介绍超滑微系统概念时，潘旭捷阐述了摩擦和磨损在微机械中的影响，指出80%的机械组件失效与此有关。他详细介绍了自超滑（原“结构超滑”）技术的原理，即在二维材料层间的弱范德华作用和非公度接触的条件下，实现两固体表面接触滑动时，磨损为零、摩擦系数近零的状态。这一技术不仅具有坚实的理论基础，还在材料制备、量产技术及工艺优化等方面取得了突破。目前，该技术已成功应用于MEMS开关、高效无磨损摩擦发电机等产品，并已与国内多家头部企业建立技术合作，展现出广阔的应用前景。

微纳加工平台的建设与运营

潘旭捷还介绍了深圳超滑技术研究所微纳加工平台的建设情况。该平台拥有2600平米的实验室，包括1000平米的洁净间，配备了200余项微纳加工设备，具备6至8英寸MEMS芯片的流片能力。平台采用FAB厂模式进行生产管理，拥有专业的加工团队和完善的管理制度。在标准工艺基础上，平台还开发了多种特色工艺，支持光学、MEMS器件及生物芯片等领域的客户需求。平台致力于成为概念验证和小批量生产的快速通道，助力科研机构和企业的技术创新与成果转化。

微纳制造产业的未来机遇

最后，潘旭捷展望了微纳制造产业的未来发展趋势。他认为，微纳制造将借鉴晶体管发明后的产业发展模式，通过开放合作和产业化探索，催生新的产业机遇。他强调，深圳作为创新之城，为颠覆性技术的产业化提供了肥沃土壤。深圳超滑技术实验平台将继续致力于超滑技术的研发与应用，推动微纳制造产业迈向更高水平，为第四次工业革命贡献力量。