之江实验室微纳加工平台：以完备工艺和专业服务支撑产业创新

“加工、测试、修改设计、再次加工……”在之江实验室微纳加工平台（以下简称“微纳平台”），一批工程师在为提升产品稳定性进行着反复迭代。他们要向杭州一家企业交付一批电阻器件，企业对于器件的批次稳定性要求极高。

这是微纳平台承接的一项企业定制化委托加工业务。为突破国内科研单位及创新企业在芯片研发过程中面临的工艺加工能力与设计能力不匹配问题，微纳平台通过构建完备的工艺线和专业化服务团队，在支撑科研实验线器件功能或概念验证的同时，实现原型小试线完整器件试制与小批量生产。

“从清洗、长膜、光刻、刻蚀到封装和测试，从前道工艺到后道工艺，我们有着全套完整的工艺流程，用户所有的工序都可以在这里完成，不再需要分散去不同的地方进行加工。”微纳平台负责人、新型计算传感与智能处理研究平台工程专家朱洪力表示。

目前，微纳平台已配置工艺设备109台，涵盖薄膜铌酸锂工艺、薄片加工、转接板加工与倒装贴片等特色工艺，以及步进光刻机、硅通孔镀膜系统等重点设备。

除了先进的设备和完备的工艺线，微纳平台还建立了一支近40人的服务团队，在保证工艺稳定性的同时，还能从用户需求出发，提供专业化的定制服务。

“为了应对微纳加工项目的复杂性、多样性和创新性需求，团队根据光刻、薄膜、刻蚀、封装等不同工艺模块建立相应的工艺库，由不同的工艺工程师负责特定的工艺技术。”朱洪力介绍道。在设备运维方面，微纳平台建立了机组负责制，每台设备均设立负责人两名，此外还设置了设备维护专员，全面负责设备的维修、维护及定期保养工作。

基于完备工艺线和专业化团队，自2023年4月投入运行到现在，微纳平台通过自主上机、委托加工、委托开发等模式服务了省内外7所高校、8所研究机构、18家高新企业，形成了成熟的服务模式，有力支撑了相关产业的发展。

与此同时，微纳加工平台积极参与科普工作，通过实验室开放日、夏令营以及各类科普宣讲活动，面向社会公众传播科学知识。此外，平台还面向相关企业、高校和科研院所，定期开展工艺技术讲座，提供公益性培训服务。

微纳加工平台科研人员在“未来科学家”暑期研学营中进行宣讲

当前，之江实验室已建立大型科研仪器设备数字化系统并对外开放，微纳平台作为其中的重要平台，将持续提升设备水平，加快迭代优化各单点工艺模块能力及工艺监控体系，在支撑之江实验室科研任务的同时，推动大型科研仪器设备开放共享，重点服务省域光电子行业，为科技创新和产业发展提供有力支撑。