202608-济南晶正电子科技有限公司-铌酸锂产线及钽酸锂产线技改项目生态环境影响报告表

济南晶正电子科技有限公司(以下简称“晶正电子”)成立于2010年3月25日，注册地位于山东省济南市高新区孙村街道港源一路752号，法定代表人为胡文。经营范围包括一般项目:电子专用材料研发;电子专用材料制造:电子专用材料销售:新材料技术研发;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;非居住房地产租赁:居民日常生活服务。(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)济南晶正电子科技有限公司对外投资3家公司，具有1处分支机构。

晶正电子现有项目包括:“济南晶正电子科技有限公司钒酸锂单晶薄膜产业化年产5万片生产线项目”、“济南晶正电子科技有限公司大尺寸酸锂单晶薄膜生产线”“济南晶正电子科技有限公司酸锂供液间废气治理设施升级项目”和“济南晶正电子科技有限公司三期污水处理站升级项目”。“酸锂单晶薄膜产业化年产5万片生产线项目”建设内容为:设置酸锂薄膜材料生产线2条，具备年产酸锂薄膜材料50000片的生产能力;该项目于2019年9月10日取得济南市生态环境局的批复(济环报告表(2019)G136号)，于2021年6月完成自主验收;“大尺寸钜酸锂单晶薄膜生产线”建设内容为:购置LPCVD、氧化炉、注入机、清洗台、键合机等生产设备40余台(套)，建设大尺寸鉭酸锂单晶薄膜生产线，具备年产酸锂单晶薄膜120000片的生产能力;该项目于2023年10月7日取得济南市生态环境局高新区分局的批复(济环报告表(2023)G87号文)，于2026年4月进行自主验收;“济南晶正电子科技有限公司锯酸锂供液间废气治理设施升级项目"为环评登记表项目，备案号:20263701000100000234，建设内容为:对酸锂清洗线5套供液柜配套建设废气治理设施一套，废气收集后经水喷淋/碱喷淋吸收处理后排放，废气治理设施设计处理能力:22000m/h;“济南晶正电子科技有限公司三期污水处理站升级项目”为环评登记表项目，备案号:20263701000100000322，建设内容为:本项目为企业现有污水处理站技改扩容项目，不新增建设用地、不新增生产厂房、不改变原有污水处理工艺路线，仅通过更换升级处理设备、优化配套管路、提升污水处理站处理规模，含氟废水处理能力由原先1m/提升为2m3/h，属于厂区现有环保设施提质扩容改造工程，建设单位于2026年6月26日，通过全国建设项目环境影响登记表备案系统完成本项目环境影响登记表填报及备案手续。

本项目位于山东省济南市高新区孙村街道港源一路752号，用地性质为工业用地。对现有“济南晶正电子科技有限公司酸锂单晶薄膜产业化年产5万片生产线项目”以下简称“锯酸锂生产线”和“济南晶正电子科技有限公司大尺寸酸锂单晶薄膜生产线”以下简称“酸锂生产线”实施技改，锯酸锂薄膜材料生产线技改内容为:占用现有3号楼和6号楼内面积约70m2，在现有生产线中增加去胶、泡膜和腐蚀三个工艺环节，其中去胶环节采用丙酮和解胶剂(含20%左右二甲苯)做为去胶剂，对晶体表面附着杂质进行脱胶处理;泡膜环节是采用丙酮浸泡的方式，对研磨后锯酸锂键合片背面蓝膜进行无伤去除;腐蚀环节针对约1%需减薄的产品，采用四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液对铌酸锂键合片上的硅层进行湿法腐蚀，利用2台现有清洗台，新增5台水浴锅设备以及配套废气、废水治理设备;钼酸锂生产线技改内容为:占用现有1号楼南侧空地面积约120m2，现有生产线的PECVD 工序，采用硅烷沉积多晶硅层以提高材料电阻性，腔室存在附着多晶硅、硅粉等硅基沉积物的问题，技改项目拟采用三氟化氮(NF;)原位等离子体清洗去除腔室沉积物，新购置三氟化氧供气设备、三氟化氮废气治理设备等，主要提升沉积效果，避免沉积物污染产品。

根据《中华人民共和国生态环境法典》(中华人民共和国主席令第七十号，2026年8月15日起施行)有关法律法规，需对本项目进行环境影响评价。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021版)的规定，本项目属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39中的81电子元件及电子专用材料制造398一电子专用材料制造(电子化工材料制造除外);使用有机溶剂的"，需编制环境影响报告表。山东向明数智物联科技有限公司受济南晶正电子科技有限公司委托，派有关工程技术人员到现场进行调查和资料收集，按国家有关环评技术规范要求，编制完成本项目环境影响报告表。项目计划2026年8月开始建设，2026年10月建设完成。