202607-浙江森田新材料有限公司-年产80吨SOC中试项目

项目由来

SOC（Spin-on Carbon，旋涂碳涂布液）是一种通过旋涂工艺在晶圆表面形成的高碳含量有机薄膜，主要扮演“打底”角色：逻辑 90 nm 以下、3D NAND 128 层以上、DRAM 18 nm 以下等先进制程，图形纵横比越大，对 SOC 厚度与均匀性要求越高，单位晶圆消耗量呈指数级放大。

目前，高端光刻材料（含 SOC、BARC、ArF/KrF 光刻胶等）长期被美、日、韩企业垄断，国内晶圆厂 90%以上依赖进口。随着外部对华技术限制不断升级，关键材料随时面临“断供”风险，成为制约 7nm 及以下先进制程扩产的瓶颈。

国内新增 12 英寸晶圆月产能超过 200 万片，且新建产线对国产材料验证通道更加开放。政策端《中国制造 2025》提出到 2025 年 70%核心材料自主保障，国家大基金二期明确把光刻材料列为重点投资方向，为国产 SOC 量产提供了史上最佳窗口期。

在此，森田新材料拟在现有厂区实施年产 80 吨 SOC 中试项目，以实现填补国内空白，国产替代。