高压半自动探针台|TS2000-HP 全屏蔽 ShielDEnvironment™ 8 寸高压半自动探针台 | 设备器件

TS2000-HP 全屏蔽 ShielDEnvironment™ 8 寸高压旗舰半自动探针台

核心独家：ShielDEnvironment™完整 EMI/RFI 避光全屏蔽舱，-60℃ ~ +300℃全温区，支持极低温雪崩、高温可靠性

安全：安全光幕互锁、STM 安全测试管理系统，高低温可安全装卸晶圆

载台：镀金真空吸盘，适配 50μm 超薄 Taiko 晶圆，可选 Taiko 专用载台

测量性能：fA 级超低漏电，适合 SiC/GaN 反向漏电流、TDDB、HCI、BTI 晶圆级可靠性 WLR

自动化：SENTIO® 软件编程步进，批量多点自动测试，兼容是德 / 吉时利高压源、脉冲大电流源、TLP/ESD 测试仪

主流场景：第三代半导体完整表征、车载功率器件可靠性实验室、晶圆厂工程验证线

应用方案推荐：功率半导体研发实验室工程验证方案（TS2000-HP 8 寸半自动）

配置：TS2000-HP 全屏蔽高低温系统 + 多路 UHP 高压探针组 + TLP/ESD 测试仪 + 晶圆级可靠性 WLR 软件包

用途：车规功率器件可靠性验证、高低温循环老化、晶圆级失效分析、新工艺评估

主流应用领域