TS200-HP手动高压探针台/大功率探针台（8 英寸 / 200mm 手动高功率） | 设备器件

TS200-HP（8 英寸 / 200mm 手动高功率）

晶圆尺寸：200mm（8 寸），兼容整片功率晶圆
结构升级：更大开放式载台，支持多探针阵列同时布置
屏蔽：内置 EMI 避光 DarkBox，飞安级 fA 漏电测量
拓展：可后期升级半自动电机、高低温系统、自动探针卡座
典型客户：IDM 研发实验室、功率器件 Foundry 工艺开发部MPI Corporation
方案推荐：高校 / 科研院所研发表征方案（TS150-HP/TS200-HP 手动台）
配置：手动 HP 探针台 + UHP 多指高压探针 + 高低温冷热台 + 吉时利高压源 / 脉冲大电流源 + 探针台显微镜
用途：SiC/GaN 材料研发、单芯片器件建模、击穿电压、导通电阻、漏电基础特性测试