MPI探针台 8英寸半自动探针台 TS2000/TS2000-IFE

MPI TS2000 与 TS2000-IFE 半自动探针台

产品介绍及核心优势

一、MPI TS2000 半自动探针台（基础版）

产品定位：适配200mm（8英寸）晶圆，主打常温/高温半自动测试，高性价比、操作简易、功能兼容强，广泛用于半导体研发、失效分析、中小批量晶圆测试场景。

核心产品参数

1. 兼容晶圆尺寸：100mm / 150mm / 200mm

2. 温度范围：常温25℃ ～ +300℃（高温配置）

3. 运动定位精度：XY±2µm，分辨率0.5µm；θ旋转±5°

4. 探针扩展：最大支持12路DC、4路RF微型定位器

5. 配套软件：SENTIO® 3.0 触控可视化界面，支持简易测试流程编程

核心产品优势

1. 入门成本低，综合功能齐全 基础版主打常温+高温测试，整机性价比高，兼容DC、RF、毫米波、大功率器件测试；适配探针卡、微针多种搭配，满足芯片设计验证、失效分析、晶圆级可靠性研发等常规需求。

2. 人机操作简单，上手门槛低 前置大开门结构，晶圆、碎片小样、芯片装卸便捷；搭配一体式触控屏，操作逻辑直观，单人即可独立完成对位、测试、收片，人员培训周期短。

3. 硬件扩展性强，保护后期投资 预留PHC精密热控制、VCE振动隔离、高精度运动模块升级接口；兼容MPI全系列配件，后期可按需增配功能，也可升级IFE高端配置版本。 ---

二、MPI TS2000-IFE 半自动探针台（增强旗舰版）

产品定位：200mm（8英寸）宽温超低噪声半自动探针平台，搭载IceFree宽温无结露系统、专业电磁光屏蔽环境，支持后期无损升级全自动，是射频、硅光、负载牵引、车规芯片高端研发首选机型。

核心产品参数

1. 兼容晶圆尺寸：100mm / 150mm / 200mm

2. 温控系统：IceFreeEnvironment™ 超宽温 **-60℃ ～ +300℃**，低温无结露、无需等待卡盘回温

3. 屏蔽系统：ShielDEnvironment™ 专业EMI电磁屏蔽+光学屏蔽，本底超低噪声＜1fA 4. 运动精度：XY±1µm、Z轴±1µm，重复定位精度＜0.5µm

5. 射频频率：覆盖DC ～ 110GHz+，支持毫米波、太赫兹器件测试

6. 扩展能力：预留WaferWallet®MAX自动上下料接口，半自动可现场升级全自动

核心产品优势

1. 超宽温无结露设计，大幅提升测试效率 支持-60℃至+300℃全温区连续稳定测试，低温工况不结冰、无结露；冷热晶圆可直接切换测试，无需等待卡盘回温，整体测试周期缩短50%以上。

2. 集成超低噪声屏蔽，适配精密微弱信号测试 一体化暗箱屏蔽结构，隔绝电磁干扰与环境光干扰，适配低噪声、低电容、微弱电流精密测量；极短信号传输路径，大幅提升毫米波、负载牵引测量精准度。

3. 可无损升级全自动，研发量产无缝衔接 原厂预留全自动升级接口，无需更换整机，现场即可升级为5盘位WaferWallet自动上下料系统，实现200mm晶圆无人化批量测试，适配从研发到小批量量产全流程。

4. 专业适配高端应用场景 标配上下双视觉高精度对准，完美适配RF毫米波、硅光器件、负载牵引、车规级芯片AEC-Q100高低温可靠性测试，一台设备覆盖高端实验室多类测试需求。

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三、MPI TS2000 VS TS2000-IFE 核心区别对比

1. 温控能力 TS2000：仅常温～+300℃； TS2000-IFE：-60℃～+300℃ 无结露宽温。 2. 屏蔽与噪声 TS2000：基础常规屏蔽； TS2000-IFE：专业电磁光一体化超低噪声屏蔽。

3. 运动精度 TS2000：±2µm； TS2000-IFE：±1µm，重复定位更高。

4. 自动化扩展 TS2000：纯半自动，无法升级全自动； TS2000-IFE：支持后期现场升级全自动上下料。

5. 适用定位 TS2000：预算友好、常规研发、失效分析入门款； TS2000-IFE：高端研发、射频硅光、宽温精密测试旗舰款。

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四、产品总结

MPI TS2000 是200mm半自动探针台高性价比入门机型，操作简单、功能够用、可基础扩展，适合预算有限的高校、实验室、常规芯片研发与失效分析场景。

MPI TS2000-IFE 是200mm平台的半自动旗舰机型，凭借超宽温无结露、超低噪声屏蔽、高精度定位、可升级全自动四大核心优势，成为射频毫米波、硅光子、负载牵引、车规级芯片高端测试的优选解决方案。