扫描电镜等离子清洗机 | 设备器件 | 微纳视界

详情介绍

一、产品介绍

CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

二、产品特点

u 远程等离子清洗源

u 清洗快速、高效

u 低轰击损伤

三、技术参数

产品型号	CIF-SEM
法兰接口	KF40（CF40）
工作气压	0.3-3Pa
等离子电源	13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调，
	远程等离子源，自动匹配器
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制	皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
电源/功率	220V，50/60Hz，300W
可选配件	可选氧气、氮气、氢气发生器，氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min
质量保证	二年质保，终身维护