透射电镜样品杆清洗机 | 设备器件 | 微纳视界

详情介绍

一、产品介绍

CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计，清洗快速高效，低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。

二、产品特点

u 远程离子清洗源

u 一机多用

u 清洗快速高效，低轰击损伤

三、技术参数

产品型号	CIF-TEM
等离子电源	13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-120W可调
等离子电源	远程等离子源，自动匹配器
清洗室	清洗室尺寸Ø180xH100mm
清洗数量	可同时清洗3支TEM样品杆
适配品牌	THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL
气体控制	标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响
气源选择	根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制	质量流量计（MFC），皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr
真空保证	真空计和电磁阀安全互锁
操控方式	7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面
真空泵	前级泵
	抽气速率2 L/s
	分子泵
	极限真空:CF:5x10-6Pa，ISO-K: 3x10-5Pa
	分子泵抽速>80L/s （N2）
	入口法兰：DN100CF/DN100 ISO-K
质量保证	二年质保，终身维护
电源	220V，50/60Hz，300W