主要特长

搭载本公司独创的镜面光学系统爆光灯房（LAMP HOUSE）。从而实现了照射面内的均匀性以及高照度。

采用本公司独创的同轴对位方式和高速图像处理技术, 从而实现了高精度对位。还支持IR方式和背面方式。

通过本公司独创的光学式间隙传感器，可在非接触状态下高速、精确的设定掩膜和基板间的近接间隙。

搭载有掩膜更换机。***多可自动更换20张掩膜。

***多可搭载3台片仓（Load port）

主要规格