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晶圆厚度测量仪

产品介绍

技术规格：

型号ETM-1200
外观尺寸
760*500*500mm
X、Y测量行程
200*200mm
Z轴可调行程
1.6-100mm
有效测量范围
160*160mm
扫描最小步距
1μm
光斑直径
18~30μm
横向分辨率
9~15μm
轴向分辨率
30nm
检测重复精度
0.1μm
与表面角度
90°±2°
测量厚度范围
10~2900μm
适应材质
Si(硅）、Doped-Si(涂层硅）、Sic（碳化硅）、Sapphire(蓝宝石）、GaAs(砷化镓）、Glass(玻璃）、GaN(氮化镓）
测量原理
红外光干涉
电源AC220V±10%
重量300kg
噪音Noise 70db
运行系统
Operational system Win10
新闻资讯
  • 报价
    面议
  • 品牌
    Effecttek易泛特
  • 型号
    ETM-1200
  • 产地
    中国大陆
    • 易泛特技术（深圳）有限公司
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