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设备器件
3D轮廓测量设备 ES-450
3D轮廓测量设备 ES-450
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产品介绍
设备技术参数:
技术规格
ES-450
外观尺寸
1700mm*1400mm*1900 mm
X.Y测量行程
450mm*450mm
Z轴可调行程
50mm
有效测量范围
450mm*450mm
扫描最少步距
1μm
最大扫描速度
10mm/S
检测重复程度
≤0.2μm
电源
AC220V±10%
重量
1500kg
噪音
70db
工作环境
AC220V±10%
功能描述:
◆ 3D形貌
◆ 台阶高
◆ 粗糙度
◆ MEMS形貌
◆ TSV
◆ 光刻胶厚度
◆ 刻蚀图形
◆ Bump
◆ 金球
◆ 铜柱
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