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单片式兆声波清洗设备 GL MegaClean

产品介绍

本设备主要用于晶圆清洗等工艺。

主要功能

  • 基材尺寸最大300mm直径以下圆片清洗
  • 单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
  • 适用于清洗纳米压印基材表面
  • 适用于母模具表面无损清洗（兆声波清洗）
新闻资讯
  • 报价
    面议
  • 品牌
    天仁微纳
  • 型号
    GL MegaClean
  • 产地
    中国大陆
    • 青岛天仁微纳科技有限责任公司
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