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单片式兆声波清洗设备 GL MegaClean

产品介绍

本设备主要用于晶圆清洗等工艺。

主要功能

  • 基材尺寸最大300mm直径以下圆片清洗
  • 单片扫描式毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗
  • 适用于清洗纳米压印基材表面
  • 适用于母模具表面无损清洗（兆声波清洗）
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