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旋涂匀胶设备+热板 GL Spin+HP

产品介绍

本设备主要用于胶体旋涂，烘烤等工艺。

主要功能

  • 适用于最大300mm直径以下圆片或者9英寸方片旋涂匀胶与烘烤工艺
  • 最大转速5000rpm
  • 自动供胶系统、EBR、BSR
  • 气流控制保证旋涂均匀性
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