PL-SR步进式纳米压印系统介绍

璞璘科技的PL-SR系列是一款步进式的纳米压印系统，其压印方式采用板对板压印方式，具备自主知识产权的模板面型控制和动态贴合系统，大大减少了压印过程中的缺陷。该系统搭载高精度喷墨打印系统，可实现＜±1μm的高精度对位功能，具备精确的残余层控制能力以及高精度的模板拼接能力。

PL-SR可实现最大12英寸晶圆的拼板功能，在光学和半导体领域有巨大的应用前途。