案例应用 | 直线电机和音圈电机在全自动引线键合机的应用

全自动引线键合机通过引线键合将金属线焊接到芯片表面的金属引脚上，以连接芯片上的不同部分，形成电路。

引线键合头是机器的关键部分，由键合工具、键合焊盘和送线机构组成。键合工具安装在XYZ轴电机上，通过控制电机移动实现焊接，通过音圈电机驱动电机，可实现高速度、低惯量和高精度Z轴力控，力控精度可达±0.1um。

固定芯片的工作台通常配备精确的XY定位系统，使芯片在每次键合时都能准确定位在键合头下方，工作台由高精度直线电机和空气轴承控制，定位精度可达±0.2um,以减少振动并确保稳定运行。