松山湖材料实验室 | 加工平台 | 微纳视界

材料制备与表征平台

材料制备与表征平台隶属于松山湖材料实验室公共技术平台，已建设有一流的材料制备、微观结构/成分表征、光/电/磁/力/热综合物性表征以及精密机械加工等开放服务单元/项目，为全国的高校、科研院所及企业不仅提供材料制备、表征和精密机械加工服务，还可通过项目合作、协同攻关、科研合作等多种形式，提供解决科学问题、开发新材料的一揽子服务。目前，平台硬件投入资金已超过2亿元人民币，拥有30万以上设备100余台套，已开放大型设备40余台套。各类仪器设备本着“人无我有、人有我优”的原则进行配置，性能高端，适用对象范围广，功能附件齐全，检测条件极限范围宽。用户范围已覆盖全国24个省/自治区/直辖市，开放共享机时超过82000小时。其中，广东省的用户数量及机时占比均超过50%，已与多家行业龙头企业开展长期稳定的合作。

仪器大厅

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科研进展

微加工与器件平台

微加工与器件平台为松山湖材料实验室公共技术平台下设子平台，规划超净实验室面积超过1000平方米。

平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，积极布局先进微电子器件、光电子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，以满足电子信息、先进显示、人工智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳加工的需求，目标建成集先进材料加工、器件工艺制备、及特殊工艺开发为一体的综合性研发平台，实现新材料从微米到纳米甚至原子级别的结构与器件的可控加工与测试，并可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。

区域介绍

平台按工艺特点和功能分成光刻工艺、镀膜工艺、刻蚀工艺、表征辅助、高温工艺、后道工艺等六大部分。各部分加工功能相互独立，可以极大地促进各部分的加工水平向纵深发展，同时各部分之间相互紧密关联、相互支撑、综合集成，形成了贯通的微纳加工全工艺链条，将为开展材料与器件的工艺加工提供先进的、功能完备的加工平台。

平台设备总体选型满足基板加工从8英寸->6英寸->4英寸->2英寸->小片的全尺寸兼容。平台配置具备多种曝光方式(电子束曝光、紫外曝光、激光直写、步进式光刻)、多种镀膜形式（电子束蒸发、热蒸发、磁控溅射、化学气相沉积、原子层沉积、精密电镀）、多种刻蚀方法（聚焦离子束刻蚀、电感耦合等离子体刻蚀、反应离子刻蚀、离子束刻蚀）、原型器件以及多种形貌表征的功能。

研究方向

平台建成后将具有电力电子器件、光电器件、MEMS&NEMS器件、生物材料及器件、柔性电子材料与器件、3D混合集成器件的工艺研发能力。

微加工与器件平台作为重要的技术支撑部门，是松山湖材料实验室的公共资源，将为实验室各研究团队的项目实施提供微纳加工技术服务以及器件级全流程工艺整合开发，同时将服务对象拓展至大湾区和全国的大学、科研机构，大力推进产业技术服务，积极扩大与企业的产学研合作，利用平台设备、技术和人才等资源优势，助力孵化项目和初创企业迅速产业化。

材料计算与数据库平台

材料计算与数据库平台为实验室和外部科研用户提供支撑服务，为用户提供算力支持、前沿计算材料科学算法研发、数据+人工智能+材料科学、材料计算服务等系统化、专业化、高技术附加的服务。面向行业全链条计算、模拟需求，背靠深耕多年的物理、材料建模和应用开发知识储备。坚持以用户为导向，提供多元化、定制化的解决方案。致力于用数据和算法推动材料科学在实际应用中的创新和转化。

一、计算资源服务

平台面向外部用户开放，为行业提供优质算力，以优惠的价格和优质服务支持科研、工业界的计算应用。欢迎咨询、试用、合作！

联系方式: tiangong@sslab.org.cn

二、科学计算软件——TDAP

TDAP全称“Time Dependent Ab-initio Package ”，是平台自主研发的一款基于数值原子轨道基的含时第一性原理科学计算软件，用于对凝聚物质激发态的动力学过程进行大规模、精确的模拟。TDAP能够在广泛的量子系统中精确、有效地处理各类超快动力学过程, 具有稳定性好、应用范围广、计算效率高等优点，已成为激发态动力学领域最有效的理论模拟软件之一，极大地推动了激发态领域的发展进程。

欢迎使用和交流！网站链接：http://tdap.sslab.org.cn/

三、材料数据库——“Atomly”

Atomly致力于开创世界级材料基因工程知识库，运用业界顶级的材料科学技术将30万+的无机晶体材料带到你触手可及之处。Atomly为业界带来材料数据工具平台。通过数据驱动材料的筛选，提升材料研发的生产力。

数据库面向用户开放，可通过链接访问：https://www.atomly.net/，欢迎咨询、预约、合作！

联系方式：atomly@iphy.ac.cn